ch和svg等美国光刻机公司只剩下10%的市场份额，其中gca和ultratech占4-5%，svg占1%。
gca在1985、1986期间损失1亿美元，被迫裁员70%，只有1000人；1988年，generalsignal以7600万美元收购了陷入财务困境的gca。随后，seatech资助gca开发krf步进器。1993年1月，generalsignal宣布其打算剥离其半导体设备公司。1993年5月，因为没有找到合适的买家，generalsignal打算关闭gca，余建国代表atic找上门……
gca浴火重生。
1988年，硅谷集团(silinvalleygroup，简称svg)在新任命的首席执行官papkendertorossian的领导下，将公司业务扩展到光刻领域，svg曾试图从generalsignal的手里收购gca，但svg因为拿不出6800万美元现金，愿意以股票代替，交易失败，然而，svg却成功地获得了p&e与ib联合开发的下一代步进扫描系统icrascan，1989年4月，p&e宣布退出半导体设备业务;svg于1990年还以2000万美元收购了p&e的光刻业务。
1998年，ultratech最终被管理层杠杠收购，退出了光刻机制造市场，成为一家专注于先进微电子工艺开发和制造解决方案提供商，其产品包括激光均匀化系统、氧化物化学气相沉积系统等先进工艺设备，广泛应用于集成电路、存储器件制造等领域。
全球光刻机市场，一年只有500台左右，市场竞争激烈，优胜劣汰，如今全球只剩下5家，美国有gca和svg，日本有nikon和canon，荷兰有asl，中国有bsec。